Mīkini Lithography Mask Aligner Photo-Etching Machine
Hoʻolauna huahana
Hoʻohana ʻia ke kumu kukui hoʻolaha i lawe ʻia mai UV LED a me ke kumu hoʻoheheʻe kumu māmā, me ka wela liʻiliʻi a me ka paʻa kumu kukui maikaʻi.
He hopena maikaʻi ka hoʻoheheʻe ʻana o ka wela a me ka hopena kokoke i ke kumu kukui, a maʻalahi a maʻalahi ka hoʻololi a me ka mālama ʻana o ke kukui mercury. Hoʻolako ʻia me ka kiʻekiʻe kiʻekiʻe binocular pālua microscope a me 21 ʻīniha ākea ākea LCD, hiki ke ʻike ʻia ma o
eyepiece a i ʻole CCD + hōʻike, me ka pololei alignment kiʻekiʻe, ka hana intuitive a me ka hana maʻalahi.
Nā hiʻohiʻona
Me ka hana hana ʻāpana
ʻO ka hoʻopaʻa ʻana i ke kaomi pili e hōʻoia i ka hana hou ʻana ma o ka sensor
Hiki ke hoʻonohonoho kikohoʻe ʻia ka ʻāwae hoʻolikelike a me ka wehe ʻana
Ke hoʻohana nei i ka kamepiula i hoʻopili ʻia + ka hana ʻana i ka pale paʻi, maʻalahi a maʻalahi, nani a lokomaikaʻi
Huki i ka ʻano pā i luna a i lalo, maʻalahi a maʻalahi
Kākoʻo i ka hoʻopā ʻana i ka vacuum contact, ka hoʻopili paʻakikī, ka hoʻopili pili kaomi a me ka ʻike pili kokoke
Me ka hana nano imprint interface
ʻO ka hoʻolaha papa hoʻokahi me hoʻokahi kī, kiʻekiʻe o ka automation
ʻO kēia mīkini ka hilinaʻi maikaʻi a me ka hōʻike maʻalahi, kūpono loa no ke aʻo ʻana, ka noiʻi ʻepekema a me nā hale hana ma nā Koleke a me nā kula.
Nā kikoʻī hou aku
Hōʻike
1. Wahi hōʻike: 110mm × 110mm;
2. ★ Ka lōʻihi o ka hawewe hōʻike: 365nm;
3. Hoʻoholo: ≤ 1m;
4. Pono pololei: 0.8m;
5. 'O ka laula ne'e o ka papa scanning o ka alignment system e halawai me: Y: 10mm;
6. Hiki ke neʻe kaʻawale nā paipu māmā hema a me ka ʻākau o ka ʻōnaehana alignment ma nā kuhikuhi X, y a me Z, kuhikuhi X: ± 5mm, kuhikuhi Y: ± 5mm a me Z kuhikuhi: ± 5mm;
7. Ka nui o ka maka: 2.5 iniha, 3 iniha, 4 iniha, 5 iniha;
8. Laʻana nui: ʻāpana, 2 ", 3", 4 ";
9. ★ He kūpono no ka mānoanoa hāpana: 0.5-6mm, a hiki ke kākoʻo i nā ʻāpana hāpana 20mm ma ka hapa nui (i hoʻopili ʻia);
10. Keʻano hōʻike: ka manawa (mode helu iho);
11. ʻAʻole kūlike o ke kukui: ＜ 2.5%;
12. Māhele ʻelua CCD alignment microscope: zoom lens (1-5 manawa) + microscope object lens;
13. ʻO ka neʻe ʻana o ka pale maka e pili ana i ka hāpana e hālāwai me: X: 5mm; Y: 5mm; : 6º；
14. ★ Ka ikehu ikehu: > 30MW / cm2,
15. ★ ʻO ke kūlana alignment a me ke kūlana hoʻolaha e hana ma nā kikowaena ʻelua, a hoʻololi ʻokoʻa nā ʻāpana servo ʻelua;
16. ʻO ka hoʻopaʻa ʻana i ke kaomi pili e hōʻoia i ka hana hou ʻana ma o ka sensor;
17. ★ Hiki ke hoʻonohonoho ʻia ma ke kikohoʻe ka ʻāpana alignment a me ka wehe ʻana;
18. ★ He nano imprint interface a me ka pili pili;
19. ★ hoʻopaʻa pale hana;
20. Ana nui: Ma kahi o 1400mm (lōʻihi) 900mm (ākea) 1500mm (kiʻekiʻe).
