Mīkini Lithography Mask Aligner Photo-Etching Machine
Hoʻolauna huahana
Hoʻohana ke kumu kukui hōʻike i ka LED UV i lawe ʻia mai a me ke modula hoʻopili kumu kukui, me ka wela liʻiliʻi a me ke kūpaʻa kumu kukui maikaʻi.
Loaʻa i ke ʻano kukui i hoʻohuli ʻia ka hopena hoʻopuehu wela maikaʻi a me ka hopena pani kumu kukui, a he maʻalahi a kūpono hoʻi ka hoʻololi a me ka mālama ʻana i ke kukui mercury. Hoʻolako ʻia me ka microscope kahua pālua binocular kiʻekiʻe a me ka pale LCD ākea 21 ʻīniha, hiki ke hoʻohālikelike ʻia ma o
eyepiece a i ʻole CCD + hōʻike, me ka pololei o ke kaulike kiʻekiʻe, ke kaʻina hana intuitive a me ka hana maʻalahi.
Nā Hiʻohiʻona
Me ka hana hana ʻāpana
ʻO ke kaomi hoʻopili pae e hōʻoiaʻiʻo i ka hana hou ʻana ma o ka sensor
Hiki ke hoʻonohonoho ʻia ka hakahaka hoʻonohonoho a me ka hakahaka hōʻike ma ke ʻano digital
Ke hoʻohana nei i ka kamepiula i hoʻokomo ʻia + ka hana paʻi lima, maʻalahi a kūpono hoʻi, nani a lokomaikaʻi
E huki i ka papa i luna a i lalo, maʻalahi a maʻalahi hoʻi
Kākoʻo i ka hoʻopili ʻana o ka vacuum, ka hoʻopili paʻakikī, ka hoʻopili ʻana o ke kaomi a me ka hoʻopili kokoke
Me ka hana hoʻopili nano imprint
Hoʻolaha papa hoʻokahi me hoʻokahi kī, kiʻekiʻe o ka automation
He maikaʻi ka hilinaʻi o kēia mīkini a me ka hōʻike kūpono, kūpono loa no ke aʻo ʻana, ka noiʻi ʻepekema a me nā hale hana ma nā Kulanui a me nā kulanui.
Nā kikoʻī hou aku
Nā kikoʻī
1. Wahi hōʻike: 110mm × 110mm;
2. ★ Ka nalu hōʻike: 365nm;
3. Hoʻonā: ≤ 1m;
4. Pololei hoʻonohonoho: 0.8m;
5. Pono ka laulā neʻe o ka papa scan o ka ʻōnaehana hoʻonohonoho ma ka liʻiliʻi e hālāwai me: Y: 10mm;
6. Hiki i nā ʻōmole kukui hema a me ka ʻākau o ka ʻōnaehana hoʻonohonoho ke neʻe kaʻawale ma nā kuhikuhi X, y a me Z, kuhikuhi X: ± 5mm, kuhikuhi Y: ± 5mm a me ke kuhikuhi Z: ± 5mm;
7. Ka nui o ka pale maka: 2.5 ʻīniha, 3 ʻīniha, 4 ʻīniha, 5 ʻīniha;
8. Ka nui o ka hāpana: ʻāpana, 2", 3", 4";
9. ★ Kūpono no ka mānoanoa o ka laʻana: 0.5-6mm, a hiki ke kākoʻo i nā ʻāpana laʻana 20mm ma ka nui loa (i hoʻopilikino ʻia);
10. ʻAno hōʻike: manawa (ʻano helu i lalo);
11. ʻAʻole like ke kukui: ＜ 2.5%;
12. Microscope hoʻonohonoho CCD kahua pālua: aniani hoʻonui (1-5 mau manawa) + aniani pahuhopu microscope;
13. ʻO ka neʻe ʻana o ka pale maka e pili ana i ka hāpana e pono e kūlike me: X: 5mm; Y: 5mm; : 6º；
14. ★ Ka nui o ka ikehu hōʻike: > 30MW / cm2,
15. ★ Hana ke kūlana hoʻonohonoho a me ke kūlana hōʻike ma nā kikowaena ʻelua, a hoʻololi aunoa ka mīkini servo kikowaena ʻelua;
16. ʻO ke kaomi hoʻopili pae e hōʻoiaʻiʻo i ka hana hou ʻana ma o ka sensor;
17. ★ Hiki ke hoʻonohonoho ʻia ka hakahaka hoʻonohonoho a me ka hakahaka hōʻike ma ke ʻano kikohoʻe;
18. ★ Loaʻa iā ia ka ʻaoʻao nano imprint a me ka ʻaoʻao kokoke;
19. ★ Hana pale paʻi;
20. Ana holoʻokoʻa: Ma kahi o 1400mm (lōʻihi) 900mm (ākea) 1500mm (kiʻekiʻe).
